[发明专利]一种金属氧化膜电阻的多源蒸发式制备方法在审
| 申请号： | 201610775228.7 | 申请日： | 2016-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN106298128A | 公开（公告）日： | 2017-01-04 |
| 发明（设计）人： | 曹维常 | 申请（专利权）人： | 安徽斯迈尔电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01C17/08 | 分类号： | H01C17/08;C23C14/24;C23C14/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 233400 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种金属氧化膜电阻的多源蒸发式制备方法，其具体制备步骤为：（1）将锡、锑、镍分别放置在真空镀膜机的三个不同的蒸发源内同时蒸镀；（2）蒸镀完毕取出冷却后，置入紫外照射舱紫外照射处理，再置入加热炉中烘烤；（3）烘烤结束后自然冷却，再经过涂漆、压帽、焊引线、刻槽和涂外漆工序，得到金属氧化膜电阻；本发明的有益效果是：采用多源同时蒸镀工艺，保证膜内组分分布均匀，还采用了后期紫外照射和低温退火工序，加强了金属氧化膜成膜质量，提高了电阻的电学性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属 氧化 电阻 蒸发 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种金属氧化膜电阻的多源蒸发式制备方法，其特征在于其具体制备步骤为：（1）将锡、锑、镍分别放置在真空镀膜机的三个不同的蒸发源内，设置蒸镀时真空度达到8×10‑4以上，镀膜速度控制在30‑50nm/s，蒸镀时陶瓷基底呈旋转状态；（2）蒸镀完毕取出冷却后，置入紫外照射舱紫外照射处理40‑50分钟，再置入加热炉中在120‑140℃下烘烤30‑40分钟；（3）烘烤结束后自然冷却，再经过涂漆、压帽、焊引线、刻槽和涂外漆工序，得到金属氧化膜电阻。
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