[发明专利]一种用于切割硅晶片的金刚线切割液有效
| 申请号： | 201610779491.3 | 申请日： | 2016-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN106398807B | 公开（公告）日： | 2019-01-08 |
| 发明（设计）人： | 曹智娟;郑建;方建 | 申请（专利权）人： | 无锡库帕油品有限公司 |
| 主分类号： | C10M161/00 | 分类号： | C10M161/00;C10N30/12;C10N30/06;C10N30/04;C10N30/18;C10N40/22 |
| 代理公司： | 北京一格知识产权代理事务所(普通合伙) 11316 | 代理人： | 滑春生 |
| 地址： | 214000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于切割硅晶片的金刚线切割液，所述金刚线切割液中各组分所占的重量百分比为：极压剂1‑13％，缓蚀剂1‑5％，润滑剂0.3‑2％，有机碱0.2‑6％，乳化剂0.2‑0.6％，消泡剂0.1‑0.5％，耦合剂0.1‑1.5％，余量为去离子水。本发明的优点在于：本发明提供的金刚线切割液，其中每个组分在配方中都有独特的作用，能够使得金刚线切割液具有突出的润滑渗透性和防锈性，磨粒分散均匀；且金刚线切割液的物理和化学性质稳定，高温不易分解；切割液抗腐蚀性能强，不易变质，使用及贮存时间长，价格低廉，有效降低了生产成本，有利于工业化大生产。 | ||
| 搜索关键词： | 线切割液 切割硅晶片 物理和化学性质 工业化大生产 抗腐蚀性能 重量百分比 分散均匀 去离子水 防锈性 缓蚀剂 极压剂 切割液 乳化剂 润滑剂 渗透性 消泡剂 有机碱 耦合剂 磨粒 生产成本 贮存 配方 变质 分解 | ||
【主权项】：
1.一种用于切割硅晶片的金刚线切割液，其特征在于：所述金刚线切割液中各组分所占的重量百分比为：极压剂 1‑13%，缓蚀剂1‑5%，润滑剂0.3‑2%，有机碱0.2‑6%，乳化剂0.2‑0.6%，消泡剂0.1‑0.5%，耦合剂0.1‑1.5%，余量为去离子水；所述的极压剂为有机聚合物，分子结构式为：![]()
其中R1、R6为甲基、乙基和苄基中的一种，R2、R3为羟基、磷酸基、氨基、氯原子和氢原子中的一种，n的取值为2‑15；R4、R5为甲基、乙基、丙基、异丙基、对甲基苯基、氯原子和氢原子中的一种，m的取值为5‑20。
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