[发明专利]一种低温等离子体发生装置及运行方法

摘要

一种低温等离子体发生装置，属于气体放电与应用技术领域，其特征在于，包括电源控制部分和并联的由介质阻挡放电装置与可调电感组串联连接组成的介质阻挡放电单元组成的放电模块部分。介质阻挡放电单元运行于固定的工作频率、工作电压下时其阻抗呈固定阻抗特性，克服了介质阻挡放电装置直接并联连接使用时阻抗呈负阻抗特性的缺陷。本发明还公开了一种低温等离子体发生装置的运行方法，利用多个具有限制性的测试控制参数，逐步检测控制装置运行于多个状态，避免故障发生或故障范围扩大。相比现有技术具有放电功率一致、激励电源的要求低、介质阻挡放电装置处理流量大及运行维护管理简单的优点。

主权项

一种低温等离子体发生装置，包括电源控制部分和放电模块部分；所述电源控制部分包括电源变换电路、控制电路、功率变换电路、变压器、温度传感器、显示操作模块、通讯接口，所述放电模块部分包括多组并联连接的介质阻挡放电单元，其特征在于：介质阻挡放电单元包括介质阻挡放电装置、可调电感组，介质阻挡放电装置与可调电感组串联连接；所述电源控制部分的变压器与并联连接的介质阻挡放电单元连接。