[发明专利]涂布机在审
| 申请号： | 201610782533.9 | 申请日： | 2016-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN106200271A | 公开（公告）日： | 2016-12-07 |
| 发明（设计）人： | 张余堂 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;熊永强 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种涂布机，用于向基板上涂布光刻胶，所述涂布机设有驱动马达、线性喷嘴和挡片，所述驱动马达用于驱动所述线性喷嘴进行前后或上下运动，所述线性喷嘴包括用于向下方喷涂所述光刻胶的喷口，所述挡片设置在所述喷口的端部，以用于阻挡所述喷口的所述端部向所述基板涂布所述光刻胶。根据本发明的涂布机无需在基板的边缘区域进行光刻胶涂布，能够省去基板的曝边工艺，从而能够节省曝边机的设备成本，并且降低产品不良的风险。 | ||
| 搜索关键词： | 涂布机 | ||
【主权项】：
一种涂布机，用于向基板上涂布光刻胶，其特征在于，所述涂布机设有驱动马达、线性喷嘴和挡片，所述驱动马达用于驱动所述线性喷嘴进行前后或上下运动，所述线性喷嘴包括用于向下方喷涂所述光刻胶的喷口，所述挡片设置在所述喷口的端部，以用于阻挡所述喷口的所述端部向所述基板涂布所述光刻胶。
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