[发明专利]一种SiC球面反射镜及利用该反射镜聚焦46.9nm激光的方法在审
| 申请号： | 201610782664.7 | 申请日： | 2016-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN106154378A | 公开（公告）日： | 2016-11-23 |
| 发明（设计）人： | 赵永蓬;崔怀愈;刘涛 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G02B5/10 | 分类号： | G02B5/10;G02B19/00 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人： | 岳昕 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 一种SiC球面反射镜及利用该反射镜聚焦46.9nm激光的方法，涉及46.9nm激光的聚焦技术，目的是为了解决采用多层镀膜球面反射镜聚焦46.9nm激光的各种缺陷。本发明的SiC球面反射镜采用SiC制成，反射面为凹陷的球面。采用上述反射镜聚焦46.9nm激光的方法包括：利用ZEMAX软件模拟聚焦光路，确定SiC球面反射镜的焦点位置的步骤；利用波长为632.8nm的氦氖激光调节光路，进一步确定焦点位置的步骤；使46.9nm激光入射至SiC球面反射镜的步骤。上述SiC球面反射镜不需要镀膜，制作成本低，不易被激光损伤，对激光没有干涉作用，上述方法得到的聚焦光斑完全能够满足烧蚀材料的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 sic 球面 反射 利用 聚焦 46.9 nm 激光 方法 | ||
【主权项】：
一种SiC球面反射镜，其特征在于，该SiC球面反射镜采用SiC材料制成，其反射面为凹陷的球面。
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