[发明专利]一种低漂移DSOI压力传感器

摘要

本发明的目的在于提供一种低漂移DSOI压力传感器，该压力传感器的上平面设置四个力敏电阻，横向电阻条为平行边框上边沿设置的力敏电阻；纵向电阻条为垂直边框上边沿设置的力敏电阻；所述的横向电阻条与纵向电阻条交错分布；所述的横向电阻条与纵向电阻条之间均串联有用于内部调零的两个补偿电阻，形成对称电路；所述的补偿电阻设置在不受力的边框上。本发明通过加入补偿电阻先内部初调节，使失调电压大大下降，再选用一个小电阻进行外接并联补偿，可以减小温漂，增加测量精度。力敏电阻连接补偿电阻至压焊脚的区域全部掺浓硼，避免了传感器经过长期高温高压工作后，容易造成铝引线断裂的问题，从而解决了器件损坏的问题。

主权项

一种低漂移DSOI压力传感器，采用正面平膜结构，包括力敏电阻（5）、补偿电阻（6）和边框（9），其中，力敏电阻（5）包括横向电阻条（501）和纵向电阻条（502），其特征是：该压力传感器的上平面设置四个力敏电阻（5），横向电阻条（501）为平行边框（9）上边沿设置的力敏电阻（5）；所述的纵向电阻条（502）为垂直边框（9）上边沿设置的力敏电阻（5）；所述的横向电阻条（501）与纵向电阻条（502）交错分布；所述的横向电阻条（501）与纵向电阻条（502）之间均串联有用于内部调零的两个补偿电阻（6），形成对称电路；所述的补偿电阻（6）设置在不受力的边框（9）上；所述的补偿电阻（6）上并联有外接电阻，采用并联调零法进行精细调零。