[发明专利]一种电磁驱动式微机械可调谐珐珀滤波器及其制作方法

摘要

本发明公开来一种电磁驱动式微机械可调谐珐珀滤波器及其制作方法，属于智能光功能器件领域，主要涉及印刷电路板技术、微加工技术、干涉滤波技术以及电磁驱动技术等。该可调谐珐珀滤波器主要包括箱体1、盖板5、可动镜面支撑4、固定镜面支撑2、永磁体16、第一反射镜8、第二反射镜14、线圈6。本发明提出的基于印刷电路板的电磁驱动式可调谐珐珀滤波器具有比静电驱动大的多的可调谐范围，能大幅度增大器件的工作波段；通过调节不同子线圈内电流的大小与方向可以微调器件可动部分，从而克服加工及装配误差，保持上下两镜面平行；同时其制作工艺采用机械加工、标准印刷电路板加工、粘接等工艺，成本低、加工周期短、工艺成熟。本发明将促进微机械可调谐珐珀滤波器在实际系统中的应用推广。

主权项

1.一种电磁驱动式可调谐珐珀滤波器，其特征在于，包括箱体(1)、盖板(5)、可动镜面支撑(4)、固定镜面支撑(2)、永磁体(16)、第一反射镜(8)、第二反射镜(14)、线圈(6)；所述可动镜面支撑(4)中间的镜面工作平台通过支撑梁(13)与四周框架连接；所述第一反射镜(8)制作在第一薄膜支撑(7)上之后，固定于可动镜面支撑(4)中间的镜面工作平台；可动镜面支撑(4)的四周框架上用标准印刷电路板生产工艺制作线圈(6)，线圈(6)由并联的多个子线圈组成；线圈(6)在永磁体(16)的磁场中受到力发生扭转，从而驱动可动镜面支撑(4)的运动；所述第二反射镜(14)制作在第二薄膜支撑(15)上之后，固定于固定镜面支撑(2)上；所述第一反射镜(8)和第二反射镜(14)形成珐珀腔；所述的可动镜面支撑(4)和固定镜面支撑(2)与箱体(1)固连；间隔层(3)控制可动镜面支撑(4)与固定镜面支撑(2)之间的间距；所述盖板(5)上有盖板通光孔(9)、可动镜面支撑(4)上有可动镜面支撑通光孔(10)、固定镜面支撑(2)上有固定镜面支撑通光孔(11)、箱体(1)上有箱体通光孔(12)；所述的第一反射镜(8)和第二反射镜(14)为半透半反膜；连接可动镜面支撑(4)中间镜面工作平台与四周框架的支撑梁(13)为直梁、蟹臂梁或折叠梁结构。