[发明专利]蓝宝石炉自动引晶控制系统和单晶炉引晶控制方法有效
申请号: | 201610785237.4 | 申请日: | 2016-08-31 |
公开(公告)号: | CN106435731B | 公开(公告)日: | 2019-03-26 |
发明(设计)人: | 李辉;毛洪英;江世成;宁斯琴;樊传宁 | 申请(专利权)人: | 南京晶升能源设备有限公司 |
主分类号: | C30B29/20 | 分类号: | C30B29/20;C30B15/26 |
代理公司: | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人: | 李昊 |
地址: | 210000 江苏省南京*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开一种蓝宝石炉自动引晶控制系统和单晶炉引晶控制方法,其中控制系统包括称重传感器,信号放大器,摄像头,变焦镜头,图像采集卡,计算机,PLC,步进驱动器和步进电机,变焦镜头安装在摄像头上,摄像头设置于蓝宝石炉的观察窗口上并指向引晶位置,摄像头与图像采集卡连接,图像采集卡与计算机相互连接,计算机连接至PLC,称重传感器与信号放大器连接,信号放大器与PLC之间连接,PLC与步进驱动器之间连接,步进驱动器与步进电机之间连接。 | ||
搜索关键词: | 蓝宝石 自动 控制系统 单晶炉引晶 控制 方法 | ||
【主权项】:
1.一种单晶炉引晶控制方法,采用的蓝宝石炉自动引晶包括称重传感器(1) ,信号放大器(2),摄像头(3),变焦镜头(4),图像采集卡(5),计算机(6),PLC(7),步进驱动器(8)和步进电机(9),所述变焦镜头(4)安装在摄像头(3)上,摄像头(3)设置于所述蓝宝石炉的观察窗口上并指向引晶位置,所述摄像头(2)与所述图像采集卡(5)连接,所述图像采集卡(5)与所述计算机(6)相互连接,所述计算机(6)连接至所述PLC(7),所述称重传感器(1)与所述信号放大器(2)连接,所述信号放大器(2)与所述PLC(7)之间连接,所述PLC(7)与所述步进驱动器(8)之间连接,所述步进驱动器(8)与所述步进电机(9)之间连接,其特征在于,包括以下步骤:1)通过CCD摄像头采集到引晶画面后,传输给图像采集卡,经过AD转换后储存在图像存储单元里,通过计算机给图像采集模块指令后,图像采集卡将一帧静止图像进行DA转换显示给计算机,计算机对图像进行中值滤波处理:图像中选取一个像素为(3*3)的领域,X1 X2 X3X4 X5 X6X7 X8 X9然后将领域中的各个的灰度值按大小进行排序,设其排序为:X1≤X2≤X3≤X4≤X5≤X6≤X7≤X8≤X9;Y=Mid {X1 ,X2 ,X3…X9}=X5;取排序好的序列的中间值Y=X5为中心点像素灰度新值,得到中值滤波后的图像;2)对滤波后的图像,使用Sobel算子;卷积因子如下:
取一个像素为(3*3)的领域,Z1 Z2 Z3Z4 Z5 Z6Z7 Z8 Z9具体计算公式如下:Gx=(Z7+2Z8+Z9)‑(Z1+2Z2+Z3)Gy=(Z3+2Z6+Z9)‑(Z1+2Z4+Z7)然后计算梯度值:
先求Tenengrad函数:Sten(k)=ΣxΣy [G(x ,y)]2求得图像中Tenengrad函数值;3)开始引晶时,变焦电机先进行自动对焦,根据该算法求得相邻两帧图像Tenengrad函数值的结果进行比较,根据比较后的结果来控制调整变焦电机的转动方向,当输出图像的Tenengrad函数值为最大时停止转动,实现图像的自动对焦;摄像头对焦后,采样到的图像进行边缘检测:当梯度大于阈值则认为该点G(x ,y)为边缘点,赋值为255,显示白色;当梯度小于阈值该点G(x ,y),赋值为0,显示黑色;通过改变调节阈值的大小得到晶体精确的边缘;通过实际籽晶尺寸与图像中籽晶包含的像素的比,得出实际物体与图像物体的比例系数;图像经过边缘检测获得椭圆的半圆弧状边缘,通过已知的摄像头角度,将此椭圆的半圆弧还原成圆形的圆弧,然后将此圆弧拟合成半圆,从中算出图像中晶体直径,再通过算出的比例系数,得出实际炉内晶体直径。
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