[发明专利]一种免开隔热笼铸锭装置及方法在审
| 申请号： | 201610785797.X | 申请日： | 2016-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN106222741A | 公开（公告）日： | 2016-12-14 |
| 发明（设计）人： | 周晓康;李春林;李旭敏;李普;鞠磊;肖宗卫;李宏 | 申请（专利权）人： | 宜昌南玻硅材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 宜昌市三峡专利事务所42103 | 代理人： | 成钢 |
| 地址： | 443007 *** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及多晶硅铸锭领域，特别是一种免开隔热笼铸锭装置及方法。装置包括隔热笼，所述隔热笼内侧面设有侧部加热器，所述隔热笼内顶部设有顶部加热器，所述侧部加热器、顶部加热器通过双电源分开控制。熔化步骤中，气冷DS块温度控制不高于1400℃，所述熔化跳转长晶的步骤中，气冷DS块温度为1300~1360℃，顶部加热器温度为1530~1545℃，所述长晶步骤中顶部加热器温度由1430下降到1400℃，气冷DS块温度从1300下降到1000℃。采用本发明，可以免开隔热笼，切割硅片隐裂报废比例下降约15%；硅锭在生长中的位错数量有效控制，硅片产品的光电转换效率高，稳定性好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 隔热 铸锭 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种免开隔热笼铸锭装置，包括隔热笼(1)，其特征在于，所述隔热笼(1)内侧面设有侧部加热器(2)，所述隔热笼(1)内顶部设有顶部加热器(3)，所述侧部加热器(2)、顶部加热器(3)通过双电源分开控制；所述隔热笼(1)内部设有石墨底板(8)与其两侧的坩埚石墨护板(11)构成的用于放置坩埚(4)的腔体，所述腔体通过石墨支撑柱(16)穿过隔热笼(1)底部支撑；所述石墨底板(8)底部设有气冷DS块(7)、底部保温板(9)，所述气冷DS块(7)内部通有循环冷却氩气；所述顶部保温板(13)设有氩气气道及石墨观察孔(12)，所述坩埚(4)内由上至下放置多晶硅料(5)、籽晶(6)。
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