[发明专利]柔性薄膜立式真空镀膜生产线有效
| 申请号： | 201610785824.3 | 申请日： | 2016-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN107794510B | 公开（公告）日： | 2020-01-07 |
| 发明（设计）人： | 黄乐;祝海生;黄国兴;孙桂红;黄夏 | 申请（专利权）人： | 湘潭宏大真空技术股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/54;C23C14/35;C23C14/24;C23C14/20;C23C14/08;C23C14/06;H01L31/18 |
| 代理公司： | 31253 上海精晟知识产权代理有限公司 | 代理人： | 熊娴;冯子玲 |
| 地址： | 411100 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了柔性薄膜立式真空镀膜生产线，包括多个镀膜子线，各子线依次独立地对薄膜进行立式镀膜，每一子线沿薄膜展开方向至少包括放卷室、镀膜室和收卷室，主驱动辊设于放卷室和收卷室内，多个传动辊设于子线各腔室内，张力检测辊、张力调节辊设于子线至少一个腔室内；其中：张力检测辊与张力调节辊为相邻设置的，张力检测辊用于实时监测薄膜张力，张力调节辊根据张力检测辊的反馈调节自身转速以调节薄膜于各腔室内传动速度，张力调节辊为非传动辊，薄膜经过张力检测辊与进过张力调节辊的展开轨迹为非直线轨迹。本发明提供的柔性薄膜立式真空镀膜生产线元素扩散路径短，无中间产物，无元素蒸发，薄膜效率高，特别适合大面积规模工业化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 柔性 薄膜 立式 真空镀膜 生产线 | ||
【主权项】：
1.柔性薄膜立式真空镀膜生产线，其特征在于：/n依次包括将金属钼(Mo)溅射到薄膜上的Mo子线；采用铜、铟、镓的线性蒸发源在硒环境中沉积形成CIGS电池吸收层的环形蒸发子线；采用脉冲直流将ZnO旋转陶瓷靶溅射到CIGS层上作为缓冲层的ZnO子线；以及将ZnO:Al(AZO)溅射在缓冲层上的AZO子线，环性蒸发子线上设有平推式蒸发门，线性蒸发门上设有组合线性蒸发源；/n其中各子线依次独立地对薄膜进行立式镀膜，每一子线沿薄膜展开方向至少包括放卷室、镀膜室和收卷室，主驱动辊设于放卷室和收卷室内，多个传动辊设于子线各腔室内，张力检测辊、张力调节辊设于子线至少一个腔室内；其中：/n张力检测辊与张力调节辊为相邻设置的，张力检测辊用于实时监测薄膜张力，张力调节辊根据张力检测辊的反馈调节自身转速以调节薄膜于各腔室内传动速度，张力调节辊为非传动辊，薄膜经过张力检测辊与进过张力调节辊的展开轨迹为非直线轨迹。/n
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