[发明专利]气体精制处理装置

摘要

本发明提供一种气体精制处理装置，通过简单的结构，对因精制处理的被吸附物质而产生吸附热的情况进行管理，在需要时对吸附剂自身进行冷却处理，防止被吸附成分的脱附及起火等，并且确保高吸附效率。其具备主体(1)、原料供给部(2)、分散部(3)、精制部(4)、排出部(5)、温度计(6)及冷却处理部(7)，从所述原料供给部(2)供给来并在分散部(3)被分散的原料气体(G)，在通过精制部(4)被精制处理后，经由排出部(5)作为精制气体排出，在精制部(4)的温度超过规定温度时，由冷却处理部(7)供给出冷却介质，对精制部进行冷却处理。

主权项

一种气体精制处理装置，其特征在于，具备：主体，具有形成有网格状或网眼状的气体流通部的内筒以及设置于该内筒的外周且形成有网格状或网眼状的气体流通部的外筒；原料供给部，用于供给作为处理对象的原料气体；分散部，用于对供给来的原料气体进行分散；精制部，用于对分散后的原料气体进行精制处理；排出部，用于排出已经通过精制部的气体；温度计，用于对精制部进行温度测量；冷却处理部，设置于精制部的上部，用于对精制部进行冷却处理；所述分散部由内筒与内筒的内部空间形成，所述排出部由外筒与外筒的外部空间以及排出流路形成；或者，所述分散部由外筒与外筒的外周空间形成，所述排出部由内筒与内筒的内部空间以及排出流路形成；所述精制部形成于内筒与外筒之间的空间部，在该空间部填充有能够通过加热来脱附的透气性的吸附剂；从所述原料供给部供给来并在分散部被分散的原料气体，在通过精制部而被精制处理之后，经由排出部而作为精制气体排出；在所述精制部的温度超过了规定温度时，由冷却处理部供给出冷却介质，对精制部进行冷却处理。