[发明专利]非制冷红外探测器及其制备方法在审
| 申请号： | 201610788422.9 | 申请日： | 2016-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN106404184A | 公开（公告）日： | 2017-02-15 |
| 发明（设计）人： | 马占锋;黄立;高健飞 | 申请（专利权）人： | 武汉高芯科技有限公司 |
| 主分类号： | G01J5/10 | 分类号： | G01J5/10 |
| 代理公司： | 北京汇泽知识产权代理有限公司11228 | 代理人： | 程殿军,张瑾 |
| 地址： | 430205 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种非制冷红外探测器，包括桥面、桥腿、锚柱及衬底，还包括至少一层辅助红外吸收层，各所述辅助红外吸收层在所述桥面的上表面上层叠布置。本发明通过在桥面顶部额外增加辅助红外吸收层，其与桥面的红外吸收层配合，可有效提高探测器的红外热辐射吸收能力，从而提高探测器的温度响应率并降低NETD。各辅助红外吸收层可采用钛或氮化钛，或钛层、氮化钛层与非金属材料层构成的多层结构式的红外吸收层，或钛、氮化钛与非金属材料组合构成的组合材料，可有效提高红外吸收率。 | ||
| 搜索关键词： | 制冷 红外探测器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种非制冷红外探测器，包括桥面、桥腿、锚柱及衬底，其特征在于：还包括至少一层辅助红外吸收层，各所述辅助红外吸收层在所述桥面的上表面上层叠布置。
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