[发明专利]提高良率提升缺陷监测效率的方法有效

专利信息
申请号: 201610790782.2 申请日: 2016-08-31
公开(公告)号: CN106206356B 公开(公告)日: 2019-05-31
发明(设计)人: 张丹丹;陈旭;邵雄 申请(专利权)人: 上海华力微电子有限公司
主分类号: H01L21/66 分类号: H01L21/66;H01L21/67
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 智云
地址: 201203 上海市*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明提供了一种提高良率提升缺陷监测效率的方法,包括:通过SIMS系统对缺陷检测控制进行设定,并且获取SIMS系统的相关设定参数;通过SIMS系统对缺陷检测控制进行设定,并且获取SIMS系统的相关设定参数;创建第一数据表来存放符合SIMS系统内设定的工艺步骤和良率提升步骤的对应关系、被检测过的工艺批次数据、以及对应的扫描数据;创建第二数据表来存放所有工艺批次的数据信息,同时判断处理信息;编写新脚本来处理所有涉及的相关数据表,并且向第一数据表和第二数据表中导入数据;利用SIMS系统获取查询信息;通过SIMS系统,查看良率提升机台的跑货情况以及扫描情况,监察SIMS系统内的各项设定的实施效果,判断设定的合理性。
搜索关键词: 提高 提升 缺陷 监测 效率 方法
【主权项】:
1.一种提高良率提升缺陷监测效率的方法,其特征在于包括:第一步骤:通过SIMS系统对缺陷检测控制进行设定,并且获取SIMS系统的相关设定参数;第二步骤:分析MES系统中的对应批次信息表以及SIMS系统的对应数据表,并整合数据;第三步骤:创建第一数据表来存放符合SIMS系统内设定的工艺步骤和良率提升步骤的对应关系、被检测过的工艺批次数据、以及对应的扫描数据;第四步骤:创建第二数据表来存放所有工艺批次的数据信息,同时判断处理信息,所述工艺批次的数据信息包括:批次名、工艺步骤顺序和工作区,所述处理信息包括是否被扫描、关键批次是否是由SIMS抓取的、以及是否被人为跳站;第五步骤:编写新脚本来处理所有涉及的MES系统中的对应批次信息表以及SIMS系统的对应数据表,并且向第一数据表和第二数据表中导入数据;第六步骤:利用SIMS系统获取查询信息,获取查询信息包括:按工作区域和/或机台实时查询各区域和/或机台的实时缺陷检测信息、选择时段内的过货信息以及缺陷检测信息;第七步骤:通过SIMS系统,查看良率提升机台的跑货情况以及扫描情况,监察SIMS系统内的各项设定的实施效果,判断设定的合理性。
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