[发明专利]热障涂层气孔率和尺寸分布的统计测量方法在审
| 申请号： | 201610792690.8 | 申请日： | 2016-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN107782653A | 公开（公告）日： | 2018-03-09 |
| 发明（设计）人： | 王墉哲;曾毅;刘紫微;华佳捷;宋雪梅 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海硅酸盐研究所 |
| 主分类号： | G01N15/08 | 分类号： | G01N15/08 |
| 代理公司： | 上海瀚桥专利代理事务所(普通合伙)31261 | 代理人： | 曹芳玲,姚佳雯 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及热障涂层气孔率和尺寸分布的统计测量方法，其特征在于，包括对待测的热障涂层截取全厚度截面试样作为待检平面；将参比材料粘贴于所述待检平面的边缘后置于扫描电镜样品台上，并设置扫面电镜的背散射图像衬度和气孔识别的分割阈值；通过能谱仪控制所述扫面电镜样品台移动，设置分析区域进行气孔率的自动统计；将气孔率的统计数据导入Matlab程序中，分类统计所述热障涂层内气孔率。本发明采用扫描电镜结合能谱仪，在设置的分析区域内进行多视场逐一扫描，依据气孔的衬度阈值进行识别、测量。 | ||
| 搜索关键词： | 热障 涂层 气孔率 尺寸 分布 统计 测量方法 | ||
【主权项】：
一种热障涂层气孔率和尺寸分布的统计测量方法，其特征在于，包括：对待测的热障涂层截取全厚度截面试样作为待检平面；将参比材料粘贴于所述待检平面的边缘后置于扫描电镜样品台上，并设置扫面电镜的背散射图像衬度和气孔识别的分割阈值；通过能谱仪控制所述扫面电镜样品台移动，设置分析区域进行气孔率的自动统计；将气孔率的统计数据导入Matlab程序中，分类统计所述热障涂层内气孔率。
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