[发明专利]微加热器及微传感器在审
| 申请号： | 201610792858.5 | 申请日： | 2016-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN106501319A | 公开（公告）日： | 2017-03-15 |
| 发明（设计）人： | 安范模;朴胜浩;边圣铉 | 申请（专利权）人： | 普因特工程有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/04 | 分类号： | G01N27/04 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司11262 | 代理人： | 张春媛,阎娬斌 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及微加热器和微传感器，其中抗蚀刻坝体形成在第一支撑部分上，并且因此第一支撑部分保持其初始形状从而使得第一支撑部分的热容量变小，并且其温度均匀性得以增强。 | ||
| 搜索关键词： | 加热器 传感器 | ||
【主权项】：
一种微加热器，其特征在于并且包括：具有第一支撑部分的基板；形成在所述第一支撑部分上的加热器电极；形成在所述第一支撑部分上并且布置在所述加热器电极附近的抗蚀刻坝体；以及形成在所述第一支撑部分的外围中的空气间隙。
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