[发明专利]TFT阵列基板及其制作方法、显示装置有效

专利信息
申请号: 201610793913.2 申请日: 2016-08-31
公开(公告)号: CN106169485B 公开(公告)日: 2019-06-14
发明(设计)人: 周志超;周佑联;武岳 申请(专利权)人: 深圳市华星光电技术有限公司
主分类号: H01L27/12 分类号: H01L27/12;H01L21/77;G02F1/1368
代理公司: 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 代理人: 黄威
地址: 518132 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明提供一种TFT阵列基板及其制作方法、显示装置,TFT阵列基板包括一玻璃基板、一缓冲层、一源极、一钝化层、一栅极、一栅极绝缘层、一有源层以及一像素电极。本发明的优点在于,提供一种TFT阵列基板的设计方案,将栅极设置在源极和像素电极之间,薄膜晶体管的沟道长度与有源层的厚度相同,可以通过合理设置有源层厚度,以减小沟道长度,从而增加薄膜晶体管的开态电流,进而提高TFT阵列基板的特性,从而提高液晶显示器的显示效果。
搜索关键词: tft 阵列 及其 制作方法 显示装置
【主权项】:
1.一种TFT阵列基板,其特征在于,包括一玻璃基板;一缓冲层,贴合于所述玻璃基板上表面;所述缓冲层内形成一第一源极孔;一源极,设置于所述第一源极孔内;一钝化层,贴合于所述缓冲层上表面;所述钝化层形成一第二源极孔,位于所述第一源极孔正上方;所述源极延伸至所述第二源极孔内;一栅极,贴合于所述钝化层上表面;一栅极绝缘层,贴合于所述钝化层及所述栅极上表面;所述栅极绝缘层设有一有源层安装孔,位于所述第二源极孔正上方;一有源层,设置于所述栅极绝缘层的有源层安装孔内;以及一像素电极,贴合于所述栅极绝缘层上表面及所述有源层上表面;其中,所述源极的形状与所述第一源极孔、所述第二源极孔的形状相应,所述源极为T字形。
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