[发明专利]一种用于环境温度下真空漏孔的校准装置及方法

摘要

本发明涉及一种用于环境温度下真空漏孔的校准装置及方法，属于测量领域。所述装置中包括主要由参考真空漏孔、参考真空漏孔温度传感器和参考真空漏孔系统阀门组成参考真空漏孔系统，主要由待校真空漏孔、待校真空漏孔温度传感器和待校真空漏孔系统阀门组成待校真空漏孔系统、主要由校准室、真空计和质谱计组成质谱分析系统和抽气系统。通过温度传感器实时测量，利用指数或线性温度修正法，将参考真空漏孔实验室温度下的漏率修正为环境温度下的漏率，避免不同温度对参考真空漏孔漏率的影响，在此基础上，在参考真空漏孔与待校真空漏孔环境温度下，采用比较法可获得多支待校真空漏孔环境温度下的漏率，提高了所述漏率的准确度和校准效率。

主权项

一种用于环境温度下真空漏孔的校准装置，其特征在于：所述装置包括参考真空漏孔系统、待校真空漏孔系统、质谱分析系统和抽气系统(11)；参考真空漏孔系统主要由参考真空漏孔(1)、参考真空漏孔温度传感器(2)、和参考真空漏孔系统阀门(3)组成；其中，参考真空漏孔温度传感器(2)与参考真空漏孔(1)连接，参考真空漏孔(1)通过管路及管路上的参考真空漏孔系统阀门(3)与校准室(7)连接；待校真空漏孔系统主要由待校真空漏孔(4)、待校真空漏孔温度传感器(5)和待校真空漏孔系统阀门(6)组成，待校真空漏孔系统为一组以上，每组待校真空漏孔系统组成相同；其中，待校真空漏孔温度传感器(5)与待校真空漏孔(4)连接，待校真空漏孔(4)通过管路及管路上的待校真空漏孔系统阀门(6)与校准室(7)连接；质谱分析系统主要由校准室(7)、真空计(8)和质谱计(9)组成；其中，真空计(8)和质谱计(9)分别与校准室(7)连接；抽气系统(11)通过管路及管路上的抽气系统阀门(10)与校准室(7)连接；所述装置中，参考真空漏孔(1)在实验室温度下的漏率、实验室温度、常数以及温度系数均为已知；参考真空漏孔(1)和待校真空漏孔(4)自带气源或与气源连接。