[发明专利]一种应变式传感器及其制作方法在审
| 申请号： | 201610795526.2 | 申请日： | 2016-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN106248268A | 公开（公告）日： | 2016-12-21 |
| 发明（设计）人： | 迈克尔·奥特文;谷荣祥;郭和平;万桦坪 | 申请（专利权）人： | 西安中星测控有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/22 | 分类号： | G01L1/22 |
| 代理公司： | 西安创知专利事务所61213 | 代理人： | 谭文琰 |
| 地址： | 710077 陕西省西安市高新区*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种应变式传感器，该应变式传感器包括弹性基体、绝缘介质层和导电膜层，电阻桥路设置在所述导电膜层上，所述导电膜层和所述绝缘介质层上设置有绝缘保护层。本发明还公开了一种制作该应变式传感器的方法，包括以下步骤：一、弹性基体的预处理；二、导电膜层的预处理；三、制作层压板；四、刻蚀电阻桥路；五、形成绝缘保护层；六、分割，能够一次完成多个应变式传感器的制作。本发明结构简单、设计合理、制作方法简便、制作效率高且使用效果好，能够一次完成多个应变式传感器的制作，提高应变式传感器的稳定性和精度，生产效率得到显著提高，具有广泛的应用和推广价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 应变 传感器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种应变式传感器，其特征在于：包括弹性基体(1)、覆盖在弹性基体(1)上的绝缘介质层(2)和覆盖在所述绝缘介质层(2)上的导电膜层(3)，电阻桥路(5)设置在所述导电膜层(3)上，所述导电膜层(3)和所述绝缘介质层(2)上均设置有绝缘保护层(4)，所述绝缘介质层(2)的层数至少为一层，所述绝缘保护层(4)的层数至少为一层。
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