[发明专利]一种双小孔质谱计校准装置及方法在审
| 申请号： | 201610796091.3 | 申请日： | 2016-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN106441702A | 公开（公告）日： | 2017-02-22 |
| 发明（设计）人： | 孙雯君;李得天;成永军;习振华;董猛;王永军;盛学民;刘珈彤 | 申请（专利权）人： | 兰州空间技术物理研究所 |
| 主分类号： | G01L27/00 | 分类号： | G01L27/00 |
| 代理公司： | 北京理工大学专利中心11120 | 代理人： | 周蜜;仇蕾安 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种双小孔质谱计校准装置及方法，属于真空计量技术保障领域。所述装置中复合真空计、第一阀门、前级室、进气小孔、第二阀门和校准室通过一条管道依次串联；前级室通过管道与进气系统连接；校准室通过第三阀门所在管道与分离规连接，校准室通过第四阀门所在管道与质谱计连接，校准室通过抽气小孔所在管道与抽气系统连接，第三阀门、第四阀门和抽气小孔位于三条不同管道上，所述管道为真空管道。通过进气小孔将前级室中气体引入校准室中，校准过程保持抽气系统开启并通过抽气小孔将校准室抽真空，利用进气小孔和抽气小孔的双小孔原理保持校准过程中气体成分不变，解决了校准过程中气体成分发生变化导致测量结果不准确的缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 小孔 质谱计 校准 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种双小孔质谱计校准装置，其特征在于：所述校准装置主要由复合真空计(1)、第一阀门(2)、前级室(3)、进气小孔(4)、第二阀门(5)、第三阀门(6)、分离规(7)、第四阀门(9)、校准室(10)、抽气小孔(11)、进气系统(12)和抽气系统(13)组成；复合真空计(1)测量范围为1×10‑7Pa～1×105Pa；第一阀门(2)、第二阀门(5)、第三阀门(6)和第四阀门(9)均为超高真空全金属角阀；进气小孔(4)对氮气的流导值为10‑9m3/s量级，抽气小孔(11)对氮气的流导值为10‑2m3/s量级；分离规(7)测量范围为1×10‑10Pa～1×10‑2Pa；质谱计(8)为真空质谱计；进气系统(12)提供全压力小于等于1个大气压的已知体积比的混合气体；复合真空计(1)、第一阀门(2)、前级室(3)、进气小孔(4)、第二阀门(5)和校准室(10)通过一条真空管道依次串联连接；前级室(3)通过真空管道与进气系统(12)连接；校准室(10)通过第三阀门(6)所在的真空管道与分离规(7)连接，校准室(10)通过第四阀门(9)所在的真空管道与质谱计(8)连接，校准室(10)通过抽气小孔(11)所在的真空管道与抽气系统(13)连接，第三阀门(6)、第四阀门(9)和抽气小孔(11)分别位于三条不同的真空管道上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于兰州空间技术物理研究所，未经兰州空间技术物理研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610796091.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
