[发明专利]基于热阴极规的静态升压法材料放气率测量装置及方法

摘要

本发明涉及一种基于热阴极规的静态升压法材料放气率测量装置及方法，属于测量领域。所述装置中：高真空样品室、第一真空阀门、第一、二小孔、第一、二分子泵和干泵依次通过真空管路串联连接；热阴极电离规B或质谱计连接在第一、二小孔间的真空管路上；电阻真空规连接在第二小孔和第一分子泵间的真空管路上；第二真空阀门两端分别通过真空管路与第一真空阀门出口和第一分子泵入口相连；热阴极电离规A连接在第一、二真空阀门之间的真空管路上。通过采用所述装置间接测量待测气体压强，可有效解决热阴极电离规或质谱计对待测气体具有抽速，直接用于静态定容升压法测量材料放气率时存在显著误差的问题，提高测量精确度。

主权项

1.一种基于热阴极规的静态升压法材料放气率测量装置，其特征在于：所述装置组成部件主要包括：高真空样品室(1)、第一真空阀门(3)、热阴极电离规A(4)、第二真空阀门(5)、第一小孔(6)、热阴极电离规B或质谱计(7)、第二小孔(8)、电阻真空规(9)、第一分子泵(10)、第二分子泵(11)和干泵(12)；高真空样品室(1)、第一真空阀门(3)、第一小孔(6)、第二小孔(8)、第一分子泵(10)、第二分子泵(11)和干泵(12)依次通过真空管路串联连接；热阴极电离规B或质谱计(7)连接在第一小孔(6)与第二小孔(8)之间的真空管路上；电阻真空规(9)连接在第二小孔(8)和第一分子泵(10)之间的真空管路上；第二真空阀门(5)两端分别通过真空管路与第一真空阀门(3)出口和第一分子泵(10)入口相连；热阴极电离规A(4)连接在第一真空阀门(3)和第二真空阀门(5)之间的真空管路上；所述装置组成部件以及真空管路之间连接的接口处全部采用金属密封，耐100℃～300℃烘烤；第一小孔(6)的流导≤0.1L/s；第二小孔(8)的流导≥3L/s；第一分子泵(10)抽速远大于第二小孔(8)流导，所述远大于为大于等于2个数量级；所述真空管路的内径≥20mm。