[发明专利]一种基于电离真空计的真空分压力的测量方法

摘要

本发明公开了一种基于电离真空计的真空分压力的测量方法，属于真空测量技术领域。该方法是向校准室中充入一定比例的混合标样气体，达到动态压力平衡，然后调节阳极电压，电离真空计示值会随之变化，记录示值变化与阳极电压的相互关系，绘制电离真空计的标准曲线图谱，在实际测量过程中，采用相同的方法，调节阳极电压，绘制电离真空计示值实时变化谱图，通过与校准谱图比对，可获得被测气体样品的分压力。该方法简单可行，在实际工作中，可替代质谱计，极大降低了系统复杂性及成本。

主权项

1.一种基于电离真空计的真空分压力的测量方法，其特征在于：所述方法包括如下步骤：步骤一：将电离真空计和宽量程监测真空计安装于被测真空分压力测量标定装置的校准室上，打开宽量程监测真空计，用于监测校准室中的压力，排出校准室中的气体至校准室中的压力达到极限真空度pu，打开电离真空计；向校准室中通入混合标样气体，当校准室中压力达动态平衡时，在电离真空计全压力的标准测量模式下，记录此时的真空度pstd；其中，所述混合标样气体的气体成分与待测混合气体的成分相同，且各组分的分压力已知；步骤二：调节电离真空计的阳极电压从0～350V逐渐增大，并记录每次调节完电压后，校准室中压力达动态平衡时电离真空计的示值pv；步骤三：以阳极电压U为横坐标，压力变化系数λ为纵坐标，绘制λ随U的变化曲线，获得标准曲线；其中，压力变化系数λ由以下公式计算得到：步骤四：仅改变混合标样气体中各组分的分压力，重复步骤一至步骤三，获得不同分压力下的标准曲线图谱；步骤五：针对各组分分压力未知的待测混合气体，按照步骤一至步骤三所述的方法获得待测混合气体压力变化系数λ，绘制压力变化系数λ随阳极电压U的变化曲线，获得实测曲线；步骤六：采用对比分析方法，将所述实测曲线与标准曲线图谱进行对比，获得待测混合气体中各组分的分压力数据。