[发明专利]电阻器制造方法在审
申请号: | 201610796244.4 | 申请日: | 2016-08-31 |
公开(公告)号: | CN106356169A | 公开(公告)日: | 2017-01-25 |
发明(设计)人: | 刁克明 | 申请(专利权)人: | 北京埃德万斯离子束技术研究所股份有限公司 |
主分类号: | H01C7/00 | 分类号: | H01C7/00;H01C17/00;H01L21/3213 |
代理公司: | 北京格允知识产权代理有限公司11609 | 代理人: | 周娇娇,谭辉 |
地址: | 100071 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种电阻器制造方法,包括提供金属箔片;对所述金属箔片进行减薄;在所述金属箔片上制备光刻胶,对所述金属箔片进行刻蚀,在所述金属箔片上形成所述预定图案;以及对残留的光刻胶进行清洗,并制备完成所述电阻器。该方法能够提高电阻器的电阻以及温度系数和高温低温双向稳定性,增加了与绝缘基体的附着力,避免了由于内应力过大而导致与绝缘基体脱落,扩大了电阻应变计的应用范围。 | ||
搜索关键词: | 电阻器 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种电阻器制造方法,其特征在于,包括:S1:提供金属箔片;S2:对所述金属箔片进行减薄;S3:在所述金属箔片上制备光刻胶,对所述金属箔片进行刻蚀,在所述金属箔片上形成所述预定图案;以及S4:对残留的光刻胶进行清洗,并制备完成所述电阻器。
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