[发明专利]一种掩膜板、对其曝光的方法以及电路面板的制造方法

摘要

本发明提供一种掩膜板、对其曝光的方法以及互电容触控电路面板的制造方法，掩膜板，所述掩膜板包括第一遮挡区域、第二遮挡区域及第三遮挡区域；其中，第一遮挡区域、第二遮挡区域及第三遮挡区域对应互电容触控电路面板的图层图案区；所述第一遮挡区域采用紫外光波段a的吸光材料作为掩膜板挡光材料；所述第三遮挡区域采用紫外光波段b的吸光材料作为掩膜板挡光材料。本发明可以实现同一张掩膜板做出不同的光刻图案，可减少掩膜板的数量，进而节省成本。

主权项

1.一种互电容触控电路面板的制造方法，其特征在于，所述制造方法包括：提供基板；在所述基板上设置掩膜板，其中，所述掩膜板包括：第一遮挡区域、第二遮挡区域及第三遮挡区域，所述第一遮挡区域采用紫外光波段a的吸光材料作为掩膜板挡光材料，所述第三遮挡区域采用紫外光波段b的吸光材料作为掩膜板挡光材料，所述第二遮挡区域采用金属铬作为掩膜板挡光材料，所述第三遮挡区域为凹型，且位于掩膜板的一侧，所述第二遮挡区域位于第三遮挡区域的凹槽内，所述第一遮挡区域位于第三遮挡区域的开口处，所述第一遮挡区域对应的互电容触控电路面板的图层图案区为第一扇形区及端子区，所述第二遮挡区域对应的互电容触控电路面板的图层图案区为第一部分触控区，所述第三遮挡区域对应的互电容触控电路面板的图层图案区为第二部分触控区和第二扇形区及端子区；采用紫外光波段a进行曝光，然后进行蚀刻和光刻胶剥离；调整所述的掩膜板的位置；采用紫外光波段b进行曝光，然后进行蚀刻和光刻胶剥离；移除所述掩膜板。/n