[发明专利]带功能层的聚酰亚胺基板膜与其制造方法及长聚酰亚胺层叠体有效

专利信息
申请号: 201610796862.9 申请日: 2016-08-31
公开(公告)号: CN106486497B 公开(公告)日: 2021-05-18
发明(设计)人: 林信行;平石克文 申请(专利权)人: 日铁化学材料株式会社
主分类号: H01L27/12 分类号: H01L27/12;H01L21/77;H01L27/32;H01L51/00;H01L21/762
代理公司: 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 代理人: 马爽;臧建明
地址: 日本东京千代*** 国省代码: 暂无信息
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明提供一种可防止异物向聚酰亚胺基板膜的混入,并且从载体膜的剥离性良好,且在该聚酰亚胺基板膜上具备功能层的带功能层的聚酰亚胺基板膜与其制造方法及长聚酰亚胺层叠体。本发明带功能层的聚酰亚胺基板膜的制造方法,在连续供给的搬送体上涂敷第1溶液而进行第1热处理,继而,涂敷第2溶液而进行第2热处理,由此获得具备第1聚酰亚胺硬化层与第2聚酰亚胺硬化层的长聚酰亚胺层叠体,然后,将聚酰亚胺硬化层的一个设为聚酰亚胺基板膜,将另一个设为载体膜,在聚酰亚胺基板膜上形成功能层并分离载体膜,由此获得具备功能层的聚酰亚胺基板膜。
搜索关键词: 功能 聚酰亚胺 基板膜 与其 制造 方法 层叠
【主权项】:
一种带功能层的聚酰亚胺基板膜的制造方法,其特征在于:在连续供给的搬送体上涂敷包含聚酰亚胺前体或聚酰亚胺树脂溶液的第1溶液而进行第1热处理,至少在所述第1溶液的表面形成不粘面,继而,涂敷包含聚酰亚胺前体或聚酰亚胺树脂溶液的第2溶液而进行第2热处理,由此获得长聚酰亚胺层叠体,所述长聚酰亚胺层叠体具备由所述第1溶液构成的第1聚酰亚胺硬化层与由所述第2溶液构成的第2聚酰亚胺硬化层,并且以搬送体的行进方向为长边方向而从所述搬送体分离,然后,将所述长聚酰亚胺层叠体的所述第1聚酰亚胺硬化层及所述第2聚酰亚胺硬化层中的一个设为聚酰亚胺基板膜,将另一个设为载体膜,在所述聚酰亚胺基板膜上形成功能层后,分离所述载体膜而获得具备所述功能层的所述聚酰亚胺基板膜。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于日铁化学材料株式会社,未经日铁化学材料株式会社许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201610796862.9/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top