[发明专利]一种高低温真空漏孔校准装置及方法在审
| 申请号： | 201610796942.4 | 申请日： | 2016-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN106441731A | 公开（公告）日： | 2017-02-22 |
| 发明（设计）人： | 盛学民;李得天;孙雯君;郭美如;袁征难;王永军;汪宁 | 申请（专利权）人： | 兰州空间技术物理研究所 |
| 主分类号： | G01M3/26 | 分类号： | G01M3/26 |
| 代理公司： | 北京理工大学专利中心11120 | 代理人： | 周蜜;仇蕾安 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种高低温真空漏孔校准装置及方法，属于测量领域。所述装置中：标准真空漏孔通过第一阀门与校准室相连；抽气机组通过第三阀门与校准室相连；被校真空漏孔通过第二阀门与校准室相连，置于高低温度室内；质谱计与校准室相连；真空计与校准室相连；温控板置于高低温度室内，与高低温度室外的温度控制系统连。所述方法采用所述装置完成，得到被校真空漏孔在校准温度下的漏率。所述装置及方法可以实现不同温度条件下，真空漏孔漏率的准确校准，避免了现有技术中，真空漏孔漏率在实验室温度条件下校准，却在不同使用环境下提供标准流量，从而引入较大测量不确定度的问题，实现了对真空漏率实际使用温度下真空漏率的校准。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 低温 真空 漏孔 校准 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种高低温真空漏孔校准装置，其特征在于：所述装置的主要组成部件包括标准真空漏孔(1)、第一阀门(2)、质谱计(3)、校准室(4)、真空计(5)、第二阀门(6)、高低温度室(8)、第三阀门(9)、抽气机组(10)、温控板(11)和温度控制系统(12)；标准真空漏孔(1)通过第一阀门(2)与校准室(4)相连；抽气机组(10)通过第三阀门(9)与校准室(4)相连；被校真空漏孔(7)通过第二阀门(6)与校准室(4)相连，置于高低温度室(8)内；质谱计(3)与校准室(4)相连；真空计(5)与校准室(4)相连；温控板(11)置于高低温度室(8)内，与高低温度室(8)外的温度控制系统(12)连接；第一阀门(2)、第二阀门(6)和第三阀门(9)均为全金属超高真空阀；标准真空漏孔(1)和被校真空漏孔(7)自带气源或与气源连接获得气源。
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