[发明专利]酸性铜电镀浴以及用于电镀低内应力和优良延展性的铜沉积物的方法在审

专利信息
申请号: 201610797001.2 申请日: 2016-08-31
公开(公告)号: CN106521571A 公开(公告)日: 2017-03-22
发明(设计)人: L·魏;Y·H·高;R·阿兹布鲁克;R·科罗纳;M·列斐伏尔 申请(专利权)人: 罗门哈斯电子材料有限责任公司
主分类号: C25D3/38 分类号: C25D3/38
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司31100 代理人: 陈哲锋,胡嘉倩
地址: 美国马*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 酸性铜电镀浴提供具有优良延展性的改进的低内应力的铜沉积物。所述酸性铜电镀浴包括一种或多种聚烯丙胺和某些含硫促进剂。所述酸性铜电镀浴可用于在相对较薄基板上电镀薄膜以提供具有低内应力和高延展性的薄膜铜沉积物。
搜索关键词: 酸性 电镀 以及 用于 内应力 优良 延展性 沉积物 方法
【主权项】:
一种酸性铜电镀浴,其包含一种或多种铜离子源、一种或多种电解质、一种或多种聚烯丙胺、一种或多种(O‑乙基二硫代碳酸根)‑S‑(3‑磺丙基)‑酯、其酸或其碱金属盐和一种或多种抑制剂。
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