[发明专利]低膨胀系数的石英玻璃的制备方法及石英玻璃在审
| 申请号： | 201610798852.9 | 申请日： | 2016-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN106430913A | 公开（公告）日： | 2017-02-22 |
| 发明（设计）人： | 聂兰舰;向在奎;饶传东;王蕾;刘飞翔;邵竹锋;王慧;王宏杰;贾亚男;符博;张辰阳;王玉芬 | 申请（专利权）人： | 中国建筑材料科学研究总院 |
| 主分类号： | C03B8/04 | 分类号： | C03B8/04 |
| 代理公司： | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙)11348 | 代理人： | 王伟锋;刘铁生 |
| 地址： | 100024*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明是关于一种低膨胀系数的石英玻璃的制备方法及石英玻璃，涉及石英玻璃制备领域，主要目的在于制备膨胀系数较低的石英玻璃，解决目前无法控制低膨胀石英玻璃的钛离子价态，导致光学性能不稳定而无法在航天、极紫外光刻等领域中得到应用。所述方法包括：向所述烧结空间通入氧化气氛气流，使所述烧结空间处于氧化环境，对所述掺钛二氧化硅疏松体进行烧结；对烧结后制得的透明化的石英玻璃冷却后，获得所述石英玻璃成品。烧结中，氧化环境可防止Ti4+向Ti3+转变，以及促进Ti3+向Ti4+转变当Ti4+钛离子较多，Ti3+钛离子较少的掺钛石英玻璃中，能够在保证石英玻璃在膨胀系数较低的同时，光谱透过率等光学性能较优。 | ||
| 搜索关键词： | 膨胀系数 石英玻璃 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种低膨胀系数的石英玻璃的制备方法，其特征在于，用于将掺钛二氧化硅疏松体在烧结空间制备成石英玻璃成品，其中，所述掺钛二氧化硅疏松体内具有气孔；所述方法包括：向所述烧结空间通入氧化气氛气流，使所述烧结空间处于氧化环境，对所述掺钛二氧化硅疏松体进行烧结；对烧结后制得的透明化的石英玻璃冷却后，获得所述石英玻璃成品。
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