[发明专利]三氯化铁ITO刻蚀液配制系统在审

专利信息
申请号: 201610799509.6 申请日: 2016-08-31
公开(公告)号: CN106190129A 公开(公告)日: 2016-12-07
发明(设计)人: 李虎宝;朱祥龙;殷泼清;李冬明;殷金虎 申请(专利权)人: 江阴市化学试剂厂有限公司
主分类号: C09K13/12 分类号: C09K13/12
代理公司: 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙) 32104 代理人: 曹祖良;刘海
地址: 214421 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及一种三氯化铁ITO刻蚀液配制系统,其特征是:包括混配罐、溶解桶和抽料循环泵,混配罐的顶部设有第一进料口,溶解桶的出料口通过抽料管连接混配罐顶部的第二进料口,抽料循环泵的一端通过第一管道连接混配罐的底部,抽料循环泵的出料端分别连接混配罐的第二进料口和第二管道,第二管道的输出端连接过滤灌装设备,在抽料循环泵的出料端设置取样支路,在取样支路上设置取样阀。在所述混配罐的中部连接第三管道,第三管道分别连接抽料循环泵的出料端管道和溶解桶。在所述溶解桶的底部安装称重秤。本发明自动化程度高,混配效果好,保证产品精度。
搜索关键词: 氯化铁 ito 刻蚀 配制 系统
【主权项】:
1.一种三氯化铁ITO刻蚀液配制系统,其特征是:包括混配罐(1)、溶解桶(2)和抽料循环泵(3),混配罐(1)的顶部设有第一进料口(5),溶解桶(2)的出料口通过抽料管(6)连接混配罐(1)顶部的第二进料口(7),抽料循环泵(3)的一端通过第一管道(8)连接混配罐(1)的底部,抽料循环泵(3)的出料端分别连接混配罐(1)的第二进料口和第二管道(9),第二管道(9)的输出端连接过滤灌装设备,在抽料循环泵(3)的出料端设置取样支路,在取样支路上设置取样阀(10);在所述混配罐(1)的中部连接第三管道,第三管道分别连接抽料循环泵(3)的出料端管道和溶解桶(2);在所述溶解桶(2)的底部安装称重秤(4);在所述混配罐(1)上安装压力表(13)和液位计(14);在所述抽料管(6)、第一管道(8)和第二管道(9)上均设有阀体。
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