[发明专利]电浆基础处理系统及其运作方法

摘要

本发明公开一种电浆基础处理系统及其运作方法。在用以产生电浆的电浆反应室以及用以承载工件的支持结构之间，使用至少一个吸收装置来吸收部份的自电浆反应室中电浆产生空间传输往支持结构的电浆。在此，任一个吸收装置的材料为电性导体，并且至少一个吸收装置的结构及/或至少二个吸收装置的相对几何关系是可以调整的。借此，可以改变被传输电浆所遇到的电性导体的位置，进而改变传输往工件及/或支持结构的电浆在横截面的离子电流分布。

主权项

一种电浆基础处理系统，其特征在于，其包含：电浆反应室，配置以在其内部的电浆产生空间产生电浆；支持结构，配置以承载工件；以及吸收装置，位于电浆产生空间以及支持结构之间，并配置以吸收部份的自电浆产生空间传输往支持结构的电浆；其中，在自电浆产生空间传输往支持结构的电浆的横截面，吸收装置具有可以沿横截面的径向方向移动的至少一个径向组件；其中，吸收装置的材料为电性导体。