[发明专利]制造微机械钟表部件的方法和所述微机械钟表部件有效
| 申请号： | 201610803279.6 | 申请日： | 2016-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN106502080B | 公开（公告）日： | 2020-05-15 |
| 发明（设计）人： | P·杜博瓦 | 申请（专利权）人： | 尼瓦洛克斯-法尔股份有限公司 |
| 主分类号： | G04D3/00 | 分类号： | G04D3/00 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 李颖;林柏楠 |
| 地址： | 瑞士勒*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 由硅基基底(1)制造微机械钟表部件的方法，其依序包括步骤：a)在所述硅基基底(1)的表面的至少一个部分的表面上形成确定深度的孔(2)，b)用选自金刚石、类金刚石碳(DLC)、氧化硅、氮化硅、陶瓷、聚合物及其混合物的材料完全填充所述孔(2)，以在孔(2)中形成厚度至少等于孔(2)的深度的所述材料的层。本发明还涉及包含硅基基底(1)的微机械钟表部件，其在所述硅基基底(1)的表面的至少一个部分的表面上具有确定深度的孔(2)，所述孔(2)被厚度至少等于孔(2)的深度的选自金刚石、类金刚石碳(DLC)、氧化硅、氮化硅、陶瓷、聚合物及其混合物的材料的层完全填充。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 微机 钟表 部件 方法 | ||
【主权项】：
由硅基基底(1)制造微机械钟表部件的方法，其依序包括步骤：a)在所述硅基基底(1)的表面的至少一个部分的表面上形成确定深度的孔(2)，b)用选自金刚石、类金刚石碳(DLC)、氧化硅、氮化硅、陶瓷、聚合物及其混合物的材料完全填充所述孔(2)，以在孔(2)中形成厚度至少等于孔(2)的深度的所述材料的层。
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