[发明专利]一种基于聚合物的流量传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 201610804131.4 | 申请日： | 2016-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN106370247A | 公开（公告）日： | 2017-02-01 |
| 发明（设计）人： | 赵晓辉;魏鹏;邓新武;蒋书文;蒋洪川;张万里 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学;东莞电子科技大学电子信息工程研究院 |
| 主分类号： | G01F1/692 | 分类号： | G01F1/692;G01F1/684;B81C1/00 |
| 代理公司： | 电子科技大学专利中心51203 | 代理人： | 吴姗霖 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 一种基于聚合物的流量传感器及其制备方法，属于流量传感器技术领域。自下而上依次为支撑层、柔性衬底、薄膜电阻层、柔性覆盖层，所述薄膜电阻层包括加热电阻、下风向测量电阻和上风向测量电阻，所述支撑层面向柔性衬底的一面开有凹槽，凹槽位于加热电阻、下风向测量电阻和上风向测量电阻的正下方。本发明流量传感器采用柔性衬底作为载体，通过位于衬底下方的带凹槽的支撑层减小热传导，柔性衬底作为流量传感器的载体，可有效提高传感器表面薄膜结构的强度，不易破碎塌陷，且耐低温、耐酸，大大提高了流量传感器的适用范围；本发明流量传感器采用聚合物支撑层代替传统的硅基板，省略了氮化硅的生长与刻蚀等过程，减小了工艺难度和成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 聚合物 流量传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种基于聚合物的流量传感器，自下而上依次为支撑层(4)、柔性衬底(3)、薄膜电阻层(2)、柔性覆盖层(1)，所述薄膜电阻层(2)包括加热电阻(5)、下风向测量电阻(6)和上风向测量电阻(7)，所述支撑层(4)面向柔性衬底的一面开有凹槽，凹槽位于加热电阻(5)、下风向测量电阻(6)和上风向测量电阻(7)的正下方。
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