[发明专利]高动态范围红外成像光谱仪有效
申请号: | 201610804504.8 | 申请日: | 2016-09-05 |
公开(公告)号: | CN106546333B | 公开(公告)日: | 2020-11-06 |
发明(设计)人: | 查尔斯·霍克;克里斯托弗·瑞恩·穆恩;安德鲁·杰特尔;洋·韩 | 申请(专利权)人: | 安捷伦科技有限公司 |
主分类号: | G01J3/42 | 分类号: | G01J3/42;G01J3/28;G01J3/06;G01J3/02 |
代理公司: | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人: | 柳春雷 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明公开了一种高动态范围红外成像光谱仪,具体地公开了一种成像扫描器和使用该成像扫描器的方法。扫描器包括可变衰减器,该可变衰减器适用于接收由MIR激光器生成的光束,且该可变衰减器利用该光束生成通过衰减水平表征的衰减光束。扫描器包括光学组件,该光学组件使衰减光束聚焦到样本上的点。光检测器测量从样本上的点离开的光的强度,该光检测器通过检测器动态范围来表征。控制器利用随样本上的位置而变化的强度形成多个MIR图像,多个MIR图像的各个图像利用光束的不同衰减水平而形成。控制器组合多个MIR图像以生成合成MIR图像,该合成MIR图像具有大于检测器动态范围的动态范围。 | ||
搜索关键词: | 动态 范围 红外 成像 光谱仪 | ||
【主权项】:
一种设备,包括:可变衰减器,其适用于接收由MIR激光器生成的光束,且所述可变衰减器利用所述光束生成通过衰减水平表征的衰减光束;平台,其适用于承载待扫描的样本;光学组件,其使得所述衰减光束聚焦至所述样本上的点;光检测器,其测量从所述样本上的所述点离开的光的强度,所述光检测器通过检测器动态范围来表征;及控制器,其由随所述样本上的位置而变化的所述强度形成多个MIR图像,所述多个MIR图像的各个图像利用所述光束的不同衰减水平而形成,所述控制器组合所述多个MIR图像以生成合成MIR图像,所述合成MIR图像具有大于所述检测器动态范围的动态范围。
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