[发明专利]混合酸性溶液的浓度测定方法在审
| 申请号： | 201610804976.3 | 申请日： | 2016-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN107796912A | 公开（公告）日： | 2018-03-13 |
| 发明（设计）人： | 汪红丽;刘彦云 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 |
| 主分类号： | G01N31/16 | 分类号： | G01N31/16 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人： | 徐文欣,吴敏 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种混合酸性溶液的浓度测定方法，包括提供测试混酸，所述测试混酸为氢氟酸和硝酸的混合溶液；采用非质子极性有机溶剂稀释所述测试混酸，形成滴定混酸；采用滴定剂对所述滴定混酸进行滴定，得到氢氟酸的滴定终点和硝酸的滴定终点；根据氢氟酸的滴定终点和硝酸的滴定终点获得测试混酸中氢氟酸的浓度和硝酸的浓度。所述方法提高了测试混酸中氢氟酸的浓度和硝酸的浓度的测试精度。 | ||
| 搜索关键词： | 混合 酸性 溶液 浓度 测定 方法 | ||
【主权项】：
一种混合酸性溶液的浓度测定方法，其特征在于，包括：提供测试混酸，所述测试混酸为氢氟酸和硝酸的混合溶液；采用非质子极性有机溶剂稀释所述测试混酸，形成滴定混酸；采用滴定剂对所述滴定混酸进行滴定，得到氢氟酸的滴定终点和硝酸的滴定终点；根据氢氟酸的滴定终点和硝酸的滴定终点获得测试混酸中氢氟酸的浓度和硝酸的浓度。
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