[发明专利]一种探针式膜厚测量机自动刮膜量测装置及其使用方法有效
| 申请号： | 201610805091.5 | 申请日： | 2016-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN106247918B | 公开（公告）日： | 2019-02-15 |
| 发明（设计）人： | 蒲建宇;李启明 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B7/06 | 分类号： | G01B7/06 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;熊永强 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本申请提出了一种探针式膜厚测量机自动刮膜量测装置及其使用方法，本发明在现有的探针式膜厚测量机上增加了刮膜刀片、刮膜碎屑处理机构和视野CCD，刮膜刀片、刮膜碎屑处理机构和视野CCD均设置在量测盘上；通过搜索CCD确定量测物的测量点位；量测针头移动到测量点位处，绘制出测量区域高度变化曲线，判断量测物是否需要进行刮膜处理，通过刮膜刀片与量测针头的相对距离确定出刮膜坐标，选定点位、刮膜方向以及刮膜长度，下降刮膜刀片，进行刮膜通过自动刮膜的方式替代手动刮膜，大大的减少了了量测时间，并对刮膜量测的精度和操作性有很大的提升，避免了刮膜刀片损坏量测物的危险。适用于对色彩基板的各道制程。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 探针 式膜厚 测量 自动 刮膜量测 装置 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
1.一种探针式膜厚测量机自动刮膜量测装置，包括量测机箱(6)、量测头机轴(2)、量测盘(1)、搜索CCD(3)、量测CCD(4)和量测针头(5)；其特征在于，还包括刮膜刀片(7)和视野CCD(9)；量测头机轴(2)的一端设置在测机箱(6)底部，量测头机轴(2)的另一端固定在量测盘(1)的上表面；搜索CCD(3)、量测CCD(4)和量测针头(5)均设置在量测盘(1)的下表面；刮膜刀片(7)和视野CCD(9)均设置在量测盘(1)上。
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