[发明专利]一种化学气相沉积反应器

摘要

本发明提供了一种化学气相沉积反应器，包括反应器壳体和反应器壳体内部的内胆，所述内胆和壳体之间设有加热装置，反应器壳体的底部为底盘，底盘上设有支架，支架上设有托架，反应器壳体的底部设有进气装置，反应器壳体的顶部设有排气装置。所述加热装置和反应器壳体之间设有隔热部件。所述底盘中部设有转动盘，转动盘上端连接到支架，转动盘下端连接转动部件。所述进气装置包括设置在底盘上的反应气体进口和稀释气体进口。

主权项

1.一种化学气相沉积反应器，其特征在于，包括反应器壳体(5)和反应器壳体(5)内部的内胆(12)，所述内胆和反应器壳体(5)之间设有加热装置(7)，反应器壳体(5)的底部为底盘(3)，底盘(3)上设有支架(10)，支架(10)上设有托架(11)，反应器壳体(5)的底部设有进气装置，反应器壳体(5)的顶部设有排气装置；支架(10)和托架(11)为镂空结构，石墨支架侧壁均匀分布若干个孔(16)；所述加热装置(7)和反应器壳体(5)之间设有隔热部件(6)；所述底盘(3)中部设有转动盘，转动盘上端连接到支架(10)，转动盘下端连接转动部件(15)；所述进气装置包括设置在底盘上的反应气体进口(8)和稀释气体进口(9)；所述进气装置包括底部气体分布器(13)；所述排气装置为设置在反应器壳体(5)顶部的尾气出口(4)；所述排气装置包括顶部气体分布器(14)；所述隔热部件(6)为石墨板拼接而成的隔热层；所述转动部件(15)通过骨架油封进行密封。