[发明专利]一种石墨烯‑黑磷异质结光电探测器及制备方法

摘要

一种石墨烯‑黑磷异质结光电探测器及制备方法，属于光通讯技术领域。本发明包括自下而上依次层叠设置的硅衬底、二氧化硅层、若干平行布置的黑磷层以及覆盖在各黑磷层上的石墨烯层；各黑磷层中的黑磷与石墨烯层中的石墨烯构成异质结；石墨烯层将黑磷层完全覆盖；石墨烯层边缘上方设置有电极，电极延伸到黑磷层与石墨烯层重叠区域上方。为解决上述技术问题，本发明实现了在光通讯波段具有极高的光电转换效率，制备方法简单、成本低，而且重复性好的目的。

主权项

一种石墨烯‑黑磷异质结光电探测器，其特征在于包括自下而上依次层叠设置的硅衬底（1）、二氧化硅层（2）、若干平行布置的黑磷层（3）以及覆盖在各黑磷层（3）上的石墨烯层（4）；各黑磷层（3）中的黑磷与石墨烯层（4）中的石墨烯构成异质结；石墨烯层（4）将黑磷层（3）完全覆盖；石墨烯层边缘上方设置有源/漏电极（5），源/漏电极（5）延伸到黑磷层与石墨烯层重叠区域上方。