[发明专利]一种铬蚀刻液及其制备方法在审
| 申请号： | 201610806796.9 | 申请日： | 2016-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN106435589A | 公开（公告）日： | 2017-02-22 |
| 发明（设计）人： | 鄢红军;熊启龙 | 申请（专利权）人： | 深圳清溢光电股份有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/26 | 分类号： | C23F1/26 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙)11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 518057 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种铬蚀刻液及其制备方法，所述铬蚀刻液包括：30～60份硝酸铈铵，200～300份高氯酸和4500～6000份去离子水；该铬蚀刻液的制备方法为：将30～60份硝酸铈铵，200～300份高氯酸和4500～6000份去离子水倒入搅拌釜内，调节不同的搅拌速度进行搅拌混合，待混合均匀后抽真空，静置一段时间后进行过滤。本发明的铬蚀刻液能够应用于同时进行垂直和侧向蚀刻的双向蚀刻工艺中，对蚀刻过程进行精细控制，提高铬膜图形精度及精度均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蚀刻 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种铬蚀刻液，其特征在于包括以下成分和含量：硝酸铈铵 30～60份；高氯酸 200～300份；去离子水 4500～6000份。
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