[发明专利]一种柔性制作曲面仿生复眼结构的方法

摘要

本发明公开了一种柔性制作曲面仿生复眼结构的方法，步骤如下在衬底上旋涂三层正性光刻胶，其中底层和顶层的光刻胶为AZ4620光刻胶，中间层为S1813光刻胶；进行两次无掩膜曝光，第一次完全曝透三层光刻胶，第二次只曝透中间层和顶层的光刻胶；显影得到初步的多级结构；连续进行两次热回流工艺处理，第一次普通热回流得到复眼大透镜结构，第二次倒置非接触式热回流得到复眼大透镜上分布的小透镜阵列结构。本发明具有工艺操作简单、加工周期短、成本低以及形状可控等优点，能够很好的满足大视场成像的要求。

主权项

一种柔性制作曲面仿生复眼结构的方法，其特征在于包括以下步骤：步骤1：在衬底上旋涂两种不同的光刻胶，底层和顶层是第一种光刻胶，中间层是玻璃软化温度Tg至少高于第一种几十摄氏度以上的另外一种光刻胶；其中，底层厚度要比顶层厚度至少高于一个数量级，顶层在几微米以下，底层在几十微米以上，作为缓冲中间层的厚度在1～2微米范围；步骤2：采用微光学加工技术中的数字微镜器件(DMD)无掩膜光刻技术，进行两次无掩膜曝光，第一次完全曝透三层光刻胶，第二次只曝透中间层和顶层的光刻胶；步骤3：显影得到底层微柱图形以及顶层和中间层的微柱或正六棱柱图形阵列；步骤4：连续进行两次热回流工艺处理，第一次普通热回流得到复眼大透镜结构，其底面直径范围为几百微米到1.5毫米；第二次倒置非接触式热回流得到复眼大透镜上分布的小透镜阵列结构，其底面直径范围为20微米到100微米。