[发明专利]一种增长等离子体羽的装置及方法有效
| 申请号： | 201610808749.8 | 申请日： | 2016-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN106304589B | 公开（公告）日： | 2019-07-05 |
| 发明（设计）人： | 李雪辰;李亚茹;张盼盼 | 申请（专利权）人： | 河北大学 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24 |
| 代理公司： | 石家庄国域专利商标事务所有限公司 13112 | 代理人： | 孙丽红;苏艳肃 |
| 地址： | 071002 河北*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种能增长等离子体羽的装置，包括等离子体羽产生机构和等离子体羽增长机构；等离子体羽增长机构是由负直流电源驱动的偏置电极，偏置电极与所述等离子体羽产生机构的出气口正对设置。本发明还公开了一种增长等离子体羽长度的方法，该方法是在等离子体羽产生机构的出气口的正对面设置等离子体羽增长机构，启动等离子体羽产生机构产生等离子体羽，然后逐渐增大负直流电源输出电压，使等离子体羽的长度随偏置电压增大而增长，直至与偏置电极相连接。本发明利用负直流偏置电压的方法，使在喷枪出气口处产生的等离子体羽长度增长。该方法为处理大尺寸的工件提供了可能性，便于推广应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 增长 等离子体 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种增长等离子体羽的方法，其特征是，包括以下步骤：a、在能产生大气环境中等离子体羽的等离子体羽产生机构的出气口的正对面，设置等离子体羽增长机构；所述等离子体羽增长机构是由负直流电源驱动的偏置电极；所述负直流电源的一端接地，另一端接偏置电极，在所述负直流电源与所述偏置电极的连接电路上串接有镇流电阻；所述偏置电极与所述等离子体羽产生机构的出气口正对设置，且所述偏置电极的极板板面能覆盖住且面积略大于所述出气口；b、启动所述等离子体羽产生机构，使出气口处产生大气环境中的等离子体羽；c、调整所述出气口与所述偏置电极的极板板面的间距，打开负直流电源的开关，逐渐增大负直流电源输出于偏置电极的偏置电压，使所述等离子体羽的长度随偏置电压增大而增长，直至与偏置电极相连接；所述等离子体羽产生机构的出气口与偏置电极的极板板面间距的距离为所述等离子体羽产生机构所产生的等离子体羽原长的3‑5倍；所述负直流电源的输出电压为0kV~‑15kV，所述镇流电阻的阻值为50kΩ~50MΩ。
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