[发明专利]一种引出电极的绝缘装置

摘要

本发明公开了一种用于离子注入机的引出电极绝缘装置。一种离子注入机用引出电极，可以从离子源弧室中引出束流，为使其正常工作发明一种绝缘装置，以隔离高压电位和地电位。主要包括接线座1、螺钉2、引出抑制电极3、绝缘瓷柱4、引出地电极5、底座6和屏蔽筒7等。该装置特征在于，采用特别的绝缘瓷柱4安装于引出抑制电极3和引出地电极5之间，且引出抑制电极3采用螺钉2与绝缘瓷柱4联接，绝缘瓷柱4采用螺钉2与屏蔽筒7联接，屏蔽筒7与底座6焊接在一起，底座6采用螺钉2与引出地电极5联接，可以很好的保护高压电位和地电位。说明书对装置工作原理进行了详细的说明，并给出了具体的实施方案。

主权项

一种用于离子注入机的引出电极绝缘装置，和离子注入机用引出电极一起使用。该引出电极可以从离子源弧室中引出束流。该装置为使其正常工作隔离高压电位和地电位。该装置主要包括：接线座(1)、螺钉(2)、引出抑制电极(3)、绝缘瓷柱(4)、引出地电极(5)、底座(6)和屏蔽筒(7)等。