[发明专利]一种旋覆与狭缝液帘配合的显影方法在审
| 申请号： | 201610810265.7 | 申请日： | 2016-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN106200280A | 公开（公告）日： | 2016-12-07 |
| 发明（设计）人： | 熊启龙;鄢红军 | 申请（专利权）人： | 深圳清溢光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 518057 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种旋覆与狭缝液帘配合的显影方法，是通过以下的步骤实现的：(1)将掩膜版装载至旋转载盘上，并将狭缝出液臂移动至所述掩膜版上方指定位置；(2)控制所述狭缝出液臂开始出显影液，即刻形成均匀的显影液帘并在足够短的时间内完全覆盖所述掩膜版以达到在掩膜版上覆盖足够厚的显影液层。本发明的显影方法采用独特配备的装置结构，可以保证出液压力、出液面积以及出液角度的一致性，在极短的时间内在大尺寸掩膜版上完全覆盖足够厚的显影液层，阻止显影液收缩，满足图形精度和精度均匀性的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 狭缝 配合 显影 方法 | ||
【主权项】：
一种旋覆与狭缝液帘配合的显影方法，其特征在于是通过以下的步骤实现的：(1)将掩膜版装载至旋转载盘上，并控制狭缝出液臂移动至所述掩膜版上方指定位置；(2)控制所述狭缝出液臂开始出显影液，即刻形成均匀的显影液帘并在足够短的时间内完全覆盖所述掩膜版以达到在掩膜版上覆盖足够厚的显影液层。
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