[发明专利]加速度校正数据计算装置以及加速度传感器的制造方法

摘要

提供一种能够容易地计算出在静电容量型的加速度传感器中用于温度校正的校正数据的加速度校正数据计算装置以及加速度传感器的制造方法，该加速度校正数据计算装置具有电极间隔测量部，其在基准温度下测量加速度传感器中设置的可动电极与固定电极之间的电极间隔；变形量计算部，其计算温度相对于基准温度发生变化的情况下的可动电极和固定电极的变形量；静电容量计算部，其基于由电极间隔测量部测量出的电极间隔以及由变形量计算部计算出的变形量，来计算可动电极与固定电极之间的静电容量；以及校正数据计算部，其基于由静电容量计算部计算出的静电容量，来计算温度相对于基准温度发生变化的情况下的校正数据。

主权项

一种加速度校正数据计算装置，计算在静电容量型的加速度传感器中用于温度校正的校正数据，该加速度校正数据计算装置的特征在于，具有：电极间隔测量部，其在基准温度下测量所述加速度传感器中设置的可动电极与固定电极之间的电极间隔；变形量计算部，其计算温度相对于所述基准温度发生变化的情况下的所述可动电极和所述固定电极的变形量；静电容量计算部，其基于由所述电极间隔测量部测量出的电极间隔以及由所述变形量计算部计算出的变形量，来计算所述可动电极与所述固定电极之间的静电容量；以及校正数据计算部，其基于由所述静电容量计算部计算出的静电容量，来计算温度相对于所述基准温度发生变化的情况下的校正数据。