[发明专利]一种图像显影过程中显影液浓度调配方法

摘要

一种为消除因浓度变化影响显影效果的Offset函数的补值方法，本发明涉及Offset函数的补值方法。本发明是要解决解决空气中的CO₂会溶解在显影液中导致显影后的图形临界尺寸CD偏离设定范围值的问题。本发明是通过当测量前显影液浓度升高时，按照一定更正关系调配显影液的浓度；显影液的控制系统(DCS)内显影液浓度测量计在测量显影液浓度时存在一定机差，在设备调试前期都会对浓度测量计进行校准，进行offset函数的补值，消除机差；根据浓度的变化实现Offset函数的补值，使显影液的浓度实现调配保持显影后的图形临界尺寸CD符合设定值等步骤实现的。本发明应用于Offset函数补值领域。

主权项

1.一种图像显影过程中显影液浓度调配方法，其包括：/n当显影液中浓度超过阈值时，按照更正关系调配显影液的浓度Y；/n根据显影液的浓度Y以及函数的补值计算得到显影液目标浓度M；根据得到的显影液目标浓度M使显影后的图形临界尺寸符合设定值；/n其中，所述显影液中浓度利用显影液的控制系统内显影液浓度测量计进行测量，显影液的控制系统的报警装置中设置的浓度的上限，现在制程中所使用的浓度为2.38％显影液中保持在1500ppm时，显影后的图形临界尺寸符合设定范围值；在显影液的控制系统的报警装置中设置为2000ppm产生警告；/n其中，所述按照更正关系调配显影液的浓度Y具体为：/n通过测量显影液浓度和测量后显影液浓度，按照能使显影后图形的临界尺寸保持在设定值，得到显影液浓度和显影液浓度有近似的关系为：/nY＝2.38+2×10^-4X+8×10^-8X²，/n其中，Y为显影液浓度wt％，X为显影液中浓度ppm；/n制程中正常使用浓度为2.38％的显影液中 浓度为1500ppm～2000ppm时显影后图形临界尺寸符合设定范围值，所以更正关系式为：/nY＝2.38+2×10^-4(X-2000)+8×10^-8(X-2000)²；/n其中，所述函数的补值为Offset函数的补值K；Offset函数补值K的计算方法为：/nM＝N+K-(Y-2.38)，/n其中，N为理论显影液浓度；M为显影液目标浓度；-(Y-2.38)值是随浓度变化更新。/n