[发明专利]AMOLED器件及其制作方法在审

专利信息
申请号: 201610814345.X 申请日: 2016-09-09
公开(公告)号: CN106206672A 公开(公告)日: 2016-12-07
发明(设计)人: 韩佰祥;吴元均 申请(专利权)人: 深圳市华星光电技术有限公司
主分类号: H01L27/32 分类号: H01L27/32;H01L27/12
代理公司: 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 代理人: 林才桂
地址: 518132 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明提供一种AMOLED器件及其制作方法。本发明的AMOLED器件的制作方法,采用喷墨打印的方法形成AMOLED器件的阳极,与传统的制作工艺相比,节省一道光罩,减少一道光刻制程,从而简化了AMOLED器件的制作工艺,降低生产成本。本发明的AMOLED器件,其阳极通过喷墨打印的方法形成,制作工艺简单,生产成本低。
搜索关键词: amoled 器件 及其 制作方法
【主权项】:
一种AMOLED器件的制作方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤1、提供一TFT基板(10),所述TFT基板(10)包括衬底(20)、设于所述衬底(20)上的栅极(21)、设于所述栅极(21)及衬底(20)上的栅极绝缘层(30)、设于所述栅极绝缘层(30)上且对应于所述栅极(21)上方的有源层(31)、设于所述有源层(31)及栅极绝缘层(30)上的刻蚀阻挡层(40)、设于所述刻蚀阻挡层(40)上的源极(41)与漏极(42)、设于所述源极(41)、漏极(42)及刻蚀阻挡层(40)上的平坦层(50)、以及设于所述平坦层(50)上且对应于所述漏极(42)上方的第一通孔(51);所述第一通孔(51)至少暴露出所述漏极(42)的一部分;步骤2、采用喷墨打印的方法在所述TFT基板(10)的平坦层(50)上的第一通孔(51)中形成阳极(61),所述阳极(61)与所述漏极(42)相接触;步骤3、在所述阳极(61)上形成发光层(70),在所述发光层(70)及平坦层(50)上形成阴极(80)。
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