[发明专利]一种测量透射电子显微镜照明电子束偏离光轴的大小和方向的方法有效
| 申请号： | 201610817787.X | 申请日： | 2016-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN106645219B | 公开（公告）日： | 2019-03-26 |
| 发明（设计）人： | 陈江华;明文全;段石云;伍翠兰 | 申请（专利权）人： | 湖南大学 |
| 主分类号： | G01N23/04 | 分类号： | G01N23/04;H01J37/26 |
| 代理公司： | 长沙市融智专利事务所 43114 | 代理人： | 颜勇 |
| 地址： | 410082 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种测量透射电子显微镜中照明电子束偏离光轴(倾转)的大小和方向的方法。该方法是通过测量高分辨像的功率谱中特定非线性反射斑点的相位随欠焦量的变化实现的。本发明解决了长久以来没有精确方法定量测量该物理参数的问题，为定量测定分析材料的三维结构和成分建立了基础，也为透射电子显微镜的精确测试和运行状态的科学评估提供了一种定量评价照明电子束偏离光轴的大小与方向的技术方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测量 透射 电子显微镜 照明 电子束 偏离 光轴 大小 方向 方法 | ||
【主权项】：
1.一种精确测量透射电镜中照明电子束偏离光轴的大小和方向的方法，其特征在于：利用透射电镜高分辨图像功率谱中的非线性反射光斑点的相位随欠焦量呈线性变化的规律来求解照明电子束偏离光轴的大小和方向；所述非线性反射光斑点由电子衍射中大小相等、方向相反的衍射矢量贡献产生。
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