[发明专利]缩小基于飞秒激光直写透明材料光波导出射模场直径的装置和方法

摘要

一种缩短基于飞秒激光直写透明材料光波导出射模场直径的装置，包括飞秒激光器、衰减片、光闸、空间光调制器、第一反射镜、第一凸透镜、狭缝、第二反射镜、第二凸透镜、分色镜、显微物镜、透明材料、三维平移台、电脑、冷光源、第三反射镜和CCD，及缩短基于飞秒激光直写透明材料光波导出射模场直径的方法。本发明基于飞秒激光直写光波导，可以在低耦合损耗的前提下调节出射模场的大小。该方法对集成光学中，将尺寸较小的硅基波导模场转换为标准单模光纤的模场有着重要的意义。

主权项

一种缩小基于飞秒激光直写透明材料光波导出射模场直径的装置，其特征在于，包括飞秒激光器(1)、衰减片(2)、光闸(3)、空间光调制器(4)、第一反射镜(5)、第一凸透镜(6)、狭缝(7)、第二反射镜(8)、第二凸透镜(9)、分色镜(10)、显微物镜(11)、供透明材料(12)放置的三维平移台(13)、电脑(14)、冷光源(15)、第三反射镜(16)和CCD(17)，所述三维平移台(13)和CCD(17)分别与所述电脑(14)相连；沿所述飞秒激光器(1)发出的激光脉冲方向依次放置所述的衰减片(2)、光闸(3)和空间光调制器(4)，经空间光调制器(4)反射的激光脉冲依次经所述的第一反射镜(5)、第一凸透镜(6)、第二反射镜(8)和第二凸透镜(9)射入所述分色镜(10)，经该分色镜(10)反射后经显微物镜(11)聚焦于固定在三维平移台(13)上的透明材料(12)的内部，所述狭缝(7)放置在所述第一凸透镜(6)的焦平面处，即空间光调制器(4)反射光斑的傅里叶成像面上；所述冷光源(15)发出的光经第三反射镜(16)反射后，照射到透明材料(12)底面，经透明材料(12)透射后，入射到所述显微物镜(11)，经该显微物镜(11)聚焦后，入射到所述的分色镜(10)，经该分色镜(10)透射后，由CCD(17)接收。