[发明专利]一种单晶炉在审
| 申请号： | 201610818921.8 | 申请日： | 2016-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN107815729A | 公开（公告）日： | 2018-03-20 |
| 发明（设计）人： | 邓先亮 | 申请（专利权）人： | 上海新昇半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/20 | 分类号： | C30B15/20;C30B29/06 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 余昌昊 |
| 地址： | 201306 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种单晶炉，所述单晶炉包括一长晶炉腔和一控制系统，所述控制系统包括一数据采集模块和一数据处理模块，所述数据采集模块采集所述长晶炉腔中的实时数据，所述数据处理模块中包括一仿真结果数据库，所述仿真结果数据库是通过模拟仿真构建出的一个完整的长晶数据库，通过对单晶体生长进行全面模拟仿真，得到不同工艺条件下的模拟仿真数据，可以实时监测和分析单晶炉的温度分布和流场分布，并且，将控制系统探测到的数据与长晶数据库中的模拟仿真结果进行智能交互，以实时数据为基础，适时在线调整工艺，改变传统的单一化的控制方式，提高单晶炉的控制精准度，提高单晶体的晶体质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶炉 | ||
【主权项】：
一种单晶炉，所述单晶炉用于一单晶体的生长，其特征在于，所述单晶炉包括一长晶炉腔和一控制系统；所述控制系统包括一用于采集所述长晶炉腔中的数据的数据采集模块、一用于将所述数据进行数据分析处理并且反馈一控制信号的数据处理模块以及一用于对所述长晶炉腔反馈所述控制信号的输出模块；所述数据处理模块包括一仿真结果数据库和一数据存储模块，所述仿真结果数据库为通过模拟仿真构建出的一长晶数据库；所述数据存储模块用于存储所述长晶数据库和所述数据采集模块采集的实时数据。
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