[发明专利]一种掩膜版清洁装置

摘要

本发明实施例提供一种掩膜版清洁装置，涉及掩膜版维护保养技术领域，能够去除掩膜版和支撑板上的灰尘或其他细小微粒。用于对待清洁掩膜版以及放置待清洁掩膜版的支撑板进行清洁，包括相对设置的第一面板和第二面板，第一面板与第二面板之间具有间隙，用于将待清洁掩膜版设置于第一面板与第二面板之间，且将第二面板设置于待清洁掩膜版与支撑板之间进行清洁操作；在第一面板靠近第二面板的一侧设置有多个出气口；至少在第二面板背离第一面板的一侧设置有多个出气口；在掩膜版清洁装置上还设置有与出气口相连接的气源。

主权项

1.一种掩膜版清洁装置，用于对待清洁掩膜版以及放置所述待清洁掩膜版的支撑板进行清洁，其特征在于，包括相对设置的第一面板和第二面板，所述第一面板与所述第二面板之间具有间隙，用于将待清洁掩膜版设置于所述第一面板与所述第二面板之间，且将所述第二面板设置于所述待清洁掩膜版与所述支撑板之间进行清洁操作；在所述第一面板靠近所述第二面板的一侧设置有多个出气口；至少在所述第二面板背离所述第一面板的一侧设置有多个出气口；在所述掩膜版清洁装置上还设置有与所述出气口相连接的气源；还包括限位部，所述限位部为条状，所述限位部的固定端固定连接在所述掩膜版清洁装置上，限位端设置在所述第二面板靠近所述支撑板的一侧，用于在所述的掩膜版清洁装置放入清洁工位后与所述支撑板侧面相抵靠。