[发明专利]一种两束干涉仪出射平面波光束间角度偏差标定方法有效
| 申请号： | 201610820673.0 | 申请日： | 2016-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN106338261B | 公开（公告）日： | 2018-12-25 |
| 发明（设计）人： | 闫力松;王辉华;李强;陈晓晨;史要涛;姜永亮;许伟才;王玉雷;胡海力 | 申请（专利权）人： | 湖北航天技术研究院总体设计所 |
| 主分类号： | G01B11/26 | 分类号： | G01B11/26 |
| 代理公司： | 武汉东喻专利代理事务所(普通合伙) 42224 | 代理人： | 方放 |
| 地址： | 430040*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种两束干涉仪出射平面波光束间角度偏差标定方法，包括以下步骤：(1)利用第一干涉仪对平面反射镜进行干涉测量，测量过程中通过调整平面反射镜的角度将干涉条纹调至零条纹；通过激光跟踪仪对平面反射镜面形进行测量，利用测量点拟合第一平面；(2)调整平面反射镜位置，利用第二干涉仪对平面反射镜进行干涉测量，测量过程中通过调整平面反射镜的角度将干涉条纹调至零条纹；通过激光跟踪仪对平面反射镜面形进行测量，利用测量点拟合第二平面；(3)计算第一平面与第二平面出射平面波间的角度偏差。本发明实现对光学系统装调中涉及到的平面波角度标定，具有标定精度高、标定步骤简单的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 干涉仪 平面波 光束 角度 偏差 标定 方法 | ||
【主权项】：
1.一种两束干涉仪出射平面波光束间角度偏差标定方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)利用第一干涉仪对平面反射镜进行干涉测量，测量过程中通过调整平面反射镜的角度将干涉条纹调至零条纹；通过激光跟踪仪对平面反射镜面形进行测量，利用测量点拟合平面，所得第一平面的方程为a1x+b1y+c1z+d1＝0，(x,y,z)为平面坐标变量，a1、b1、c1、d1为拟合系数；(2)调整平面反射镜位置，利用第二干涉仪对平面反射镜进行干涉测量，测量过程中通过调整平面反射镜的角度将干涉条纹调至零条纹；通过激光跟踪仪对平面反射镜面形进行测量，利用测量点拟合平面，所得第二平面的方程为a2x+b2y+c2z+d2＝0，(x,y,z)为平面坐标变量，a2、b2、c2、d2为拟合系数；(3)计算第一平面与第二平面出射平面波间的角度偏差![]()
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于湖北航天技术研究院总体设计所，未经湖北航天技术研究院总体设计所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610820673.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种轴系校中光靶装置
- 下一篇：一种金属件表面平整度检测装置和检测方法
