[发明专利]一种电子式HF升降温系统

摘要

本发明涉及半导体制造技术领域，具体地说是一种电子式HF升降温系统，包括安装有化学品通道的热交换箱体(1)，热交换箱体(1)左右两侧分别设有半导体制冷片(2)，半导体制冷片(2)与热交换箱体(1)之间设有导热板(3)，半导体制冷片(2)另一侧设有冷却水箱(4)，热交换箱体(1)侧面上部开设有热交换箱体化学液出口(5)，热交换箱体(1)侧面下部开设有热交换箱体化学液进口(6)，冷却水箱(4)侧面开设有冷却水箱循环口(7)，半导体制冷片(2)通过电流控制模块连接开关电源；本发明摒弃了传统的高温石英/不锈钢加热器和压缩冰机，不仅能实现加热，同时也能实现冷却，且安全性、维护性能提高，环保性能提高。

主权项

1.一种电子式HF升降温系统，其特征在于：包括安装有化学品通道的热交换箱体(1)，所述热交换箱体(1)左右两侧分别设有半导体制冷片(2)，所述半导体制冷片(2)与热交换箱体(1)之间设有导热板(3)，所述半导体制冷片(2)另一侧设有冷却水箱(4)，所述热交换箱体(1)侧面上部开设有热交换箱体化学液出口(5)，所述热交换箱体(1)侧面下部开设有热交换箱体化学液进口(6)，所述冷却水箱(4)侧面开设有冷却水箱循环口(7)，所述半导体制冷片(2)通过电流控制模块连接开关电源，所述半导体制冷片(2)基于帕尔贴效应通过改变电压和电流方向实现制冷或加热，所述热交换箱体(1)侧面中部设有PT100中间部位感温口(8)，所述热交换箱体(1)顶部设有PT100出口感温口(9)，所述热交换箱体(1)底部设有PT100进口感温口(10)，所述PT100中间部位感温口(8)处设有中间区域PT100温度传感器(11)，所述PT100出口感温口(9)处设有出口PT100温度传感器(12)，所述PT100进口感温口(10)处设有进口PT100温度传感器(13)，所述半导体制冷片(2)分三段式控制，分别为半导体制冷片控制区域一(14)、半导体制冷片控制区域二(15)、半导体制冷片控制区域三(16)，所述半导体制冷片控制区域一(14)、半导体制冷片控制区域二(15)、半导体制冷片控制区域三(16)的半导体制冷片(2)分别通过线路连接电流控制模块一(17)、电流控制模块二(18)、电流控制模块三(19)，所述电流控制模块一(17)、电流控制模块二(18)、电流控制模块三(19)均与控制器(20)相连，所述电流控制模块一(17)、电流控制模块二(18)、电流控制模块三(19)分别通过线路连接开关电源一(21)、开关电源二(22)、开关电源三(23)，所述热交换箱体(1)的出口PT100温度传感器(12)通过线路连接控制器(20)。